更新時間：2024-06-24
韓國ls超聲波流量計代替日本TKK產品代替日本東富科 TOFCO TKK首先我們對于您給予 MERIT100這個產品以極大的信任表示感謝.MERIT100在潔凈室的環境中進行生產并經歷嚴格的品質管理在出貨前經歷多項檢測因此造就了優秀的性能和的品質。該機器是為了快速、精密地測定管道內流動液體的流量而設計制作的,同時外觀的設計兼顧耐用和美觀的優點。
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韓國ls超聲波流量計成熟應用于半導體濕法領域，單片清洗設備，槽式清洗設備，涂膠顯影設備，CMP研磨設備。
韓國ls超聲波流量計代替日本TKK產品
代替日本東富科 TOFCO TKK
◎ 高純度藥液與超純粹等液體的高速精密流量測量
◎ 高品質高精密的半導體與產業用非接觸式超聲波測量儀使用
◎ 以RS-485通信(Modbus)監視多數流量
◎ 以電源分離屏蔽外部干擾及所有輸入輸出RFI/EMI (CE認證)
◎ 可以測量多種液體的流量(DI, 窒酸, 硫酸, 過酸化水素, 氫氟酸, 氨水等)
◎ 7 Segment 4Digit Display
◎ 外部輸出功能 – Analog Out : 4 ~ 20mA(16bit) / Sol Valve控制
◎ AMP(6渠道) 一體化，空間最小化
◎ 以酸反洗井工程Particle最小化(選項)
韓國ls超聲波流量計代替日本TKK產品
◎ 瞬時及積算Flow Meter(ml/min)
◎ 通過超聲波波形分析功能提供精密測量
◎ 對因藥液及溫度變化而產生的誤差自動補正
◎ 以Serial Comm. 提供各樣的應用技術及維護軟件道具
韓國ls超聲波流量計代替日本TKK產品
? Merit 200 Series LFC 特征
◎ 控制閥門內置的高品質高精密半導體及產業用非接觸式LFC
◎ 可以測量多種液體的流量(DI, 窒酸, 硫酸, 過酸化水素, 氫氟酸, 氨水, SC1, IPA)
◎ 以電源分離屏蔽外部干擾及所有輸入輸出RFI/EMI (CE認證)
◎ 維修簡便(控制電源與檢測器一體型接液部)
◎ 外部輸出功能(Sol Valve On/Off與循環Valve控制)
◎ AMP(6渠道) 一體化，空間最小化
◎ 以搞清潔閥門使用Particle最少話(選項)
韓國ls超聲波流量計代替日本TKK產品
? Merit 200 Series LFC 功能
◎ 目標量瞬時控制及流量脈動過濾
◎ 通過超聲波波形分析功能提供精密測量
◎ 對因藥液及溫度變化而產生的誤差自動補正
◎ 以Serial Comm. 提供各樣的應用技術及維護軟件道具
◎ 通過RS-485通信方式多數流量監測
◎ 告訴控制響應 (目標流量率98%, 2秒以內)
區分 | 樣式 |
電源 | DC+24V（±10%） |
溫度 | 0~50℃ |
消耗電流 | 約25.2W（六頻道） |
防水結構 | IP20 |
通信規格 | RS-485（MODBUS） |
產品尺寸 | 50mm × 126mm × 79.5mm |
重量 | 293g（六頻道） |
CE認證 | EN61326,55011 |
韓國ls超聲波流量計代替日本TKK產品
區分 | 樣式 |
測量對象 | 全部液體 |
流體溫度 | 10~90℃ |
流體壓力 | 0~0.35Mpa（極限值0.5Mpa） |
聲波范圍 | 1000~2200m/Sec |
防水結構 | IP65 |
材質 | PFA |
標準管徑 | 1/4inch，3/8inch，1/2inch，3/4inch |
線纜長度 | （樣式）：2M，3M，5M |
區分 | A20（1/4"） | A50（3/8"） | A200（1/2"） | A500（3/4"） | 備注 |
藥液 | Chemical, slurry, DIW | ||||
流量范圍 | 0.02~2.5 | 0.1~5.0 | 0.5~20 | 1~50 | L/min |
最小Unit | 1 mL/min | 10mL/min | |||
管徑 | 6.35(3.96) | 9.52(6.35) | 12.7(9.53) | 19(15.87) | 外徑（內徑）mm |
精度 | 0.05~0.3(±3) | 0.1~0.6(±6) | 0.5~2.0(±20) | 1.0~5.0(±50) | L/min（mL/min） |
0.3~2.5 (±1%) | 0.6~5.0(±1%) | 2.0~20(±1%) | 5.0~50(±1%) | of RD |
類別 | 韓國LS M100-xxxx | 日本TOFCO USFXXX | SFC-XXX 日本TKK | 備注 |
英寸 | 1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch | 1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch | 1/4, 3/8, 1/2, 3/4inch | |
尺寸 | 119.6 x 20.8 x 152.6 mm | 138 x 40 x 105 mm | 134 x 20 x 100 mm | 設置尺寸較小， 安裝尺寸最小化 |
材料/防水 | PFA / IP65 (Detector) | PFA | PFA | |
電源 | 24VDC ±10% | 24VDC ±10% | 24VDC ±10% | |
精度 | 20mL~300mL : ±3mL 300mL~2500mL : ±1% | 50mL~300mL : ±3mL 300mL~3000mL : ±1% | 50mL~800mL : ±8mL 800mL~2000mL: ±1% | 小流量更為精準 |
流體溫度 | 10 ~ 90℃ （Option ~150℃） | 10 ~ 90℃ (Option ~180℃) | 10~ 180℃ | 可以在高溫使用 |
響應時間 | 1.5 sec | - | - | 反應速度快 |
可測范圍(DIW) | 20 ~ 2500mL/min | 50 ~ 3000mL/min | 50~ 2500mL/min | ***流量值最小 |
模擬輸出 | 4-20 mA | 4-20 mA | 4-20 mA | |
操作模式 | Analog output mode RS-485 Isolated | Analog output mode RS-485 Non-isolated | Analog output mode RS-485 Non-isolated | 絕緣類型適用 (5 kV rms isolated) |
頻道數 | 2/6Channel | 2Channel | 1Channel |
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